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極(ji)限壓強(qiang)：5×10-7 Pa
最(zui)大(da)前級(ji)壓(ya)力(li)：100Pa
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極限(xian)壓強：5×10-7 Pa
最(zui)大前(qian)級(ji)壓(ya)力：100Pa
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極(ji)限壓強：5×10-7 Pa
最(zui)大前級壓(ya)力(li)：100Pa
電機轉速(su)：24000r/min
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極限(xian)壓(ya)強：5×10-7 Pa
最大前(qian)級(ji)壓力：100Pa
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極(ji)限壓強(qiang)：5×10-7 Pa
最(zui)大(da)前級壓力：100Pa
電機轉(zhuan)速：24000r/min
啟動時間：＜1...

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抽氣(qi)速率(lv)：4000L/s
極限(xian)壓(ya)強(qiang)：5×10-7 Pa
最大前級(ji)壓(ya)力：100Pa
電機(ji)轉速：24000r/min
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